Программа дисциплины
Физические основы микро- и наноэлектоники (Дисциплины (модули) )
Скачать рабочую программуНагрузка по семестрам | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Семестр | Кредитов | Часов всего | Лекций | Практических занятий | Лабораторных | Часов в активной форме | Часов консультаций | Часов самостоятельной работы | Виды самостоятельной работы | Отчетность |
5 | 4 | 144 | 36 | 18 | 18 | 0 | Э |
Перечень формируемых компетенций |
---|
ПК1. Способность представить адекватную современному уровню знаний научную картину мира на основе знания основных положений, законов и методов естественных наук и математики |
ПК9. Готовность осуществлять сбор и анализ исходных данных для расчета и проектирования деталей, узлов и модулей электронных средств |
ПК14. Способность выполнять работы по технологической подготовке производства |
Перечень формируемых компетенций НГТУ |
---|
ОНК.4. Способность представить адекватную современному уровню знаний научную картину мира на основе знания основных положений, законов и методов естественных наук и математики |
ОПК.13. Способность выполнять работы по технологической подготовке производства |
ОПК.9. Готовность осуществлять сбор и анализ исходных данных для расчета и проектирования деталей, узлов и модулей электронных средств |
Перечень формируемых знаний и умений НГТУ |
---|
ОНК.4.З-1.1. Основы теории фазовых переходов, дающей количественные закономерности технологии получения радиоэлектронных материалов |
ОНК.4.З-1.2. Физические и технологические пределы уменьшения размеров элементов микроэлектроники |
ОНК.4.З-1.8. Кинетику диффузионных процессов в газах и твердых телах |
ОПК.13.З-1.2. Кинетику, основные закономерности гетерогенных реакций, лежащих в основе типовых технологических процессов изготовления структур интегральных микросхем |
ОПК.13.З-1.3. Основные инженерные методы расчетов технологических режимов расхода реагентов, количественной оценки вклада диффузионной и кинетической составляющих в суммарную скорость процесса |
ОПК.13.У2. Рассчитать основные технологические параметры процесса с учетом газодинамических характеристик, расходов и режимов установки |
ОПК.13.У3. Рассчитать потребность в реагентах (твердых, жидких, газообразных), исходя из режимов, производительности и программы |
ОПК.13.У5. Выбрать типовой технологический процесс изготовления, исходя из требований к характеристикам структур |
ОПК.9.З-1.1. физические основы микро и наноэлектроники, свойства материалов электронной техники; |